ГЛАВА 2. ЦЕЛЬ И ЗАДАЧИ НАУЧНОГО ИССЛЕДОВАНИЯ

Основной целью будущей научно-исследовательской работы является выявление и установление зависимостей, связанных с варьированием параметров технологического процесса фотолитографии с целью увеличения воспроизводимости самой операции и возможной оптимизации.

При этом должны быть сохранены параметры самих создаваемых приборов, заданные, например, по техническому заданию или технологическому маршруту (сопроводительному листу).

Варьирование или другими словами изменение параметров фотолитографии непосредственно на производстве должно быть обоснованным и по возможности максимально оптимизировать затраты ресурсов.

Таким образом, для реализации поставленной цели необходимо уточнять корректируемые параметры с помощью компьютерных технологий (например, с помощью программы Sentaurus TCAD, S-Litho).

Другой важной задачей для выполнения указанной цели является выявление расхождения результатов моделирования непосредственно с экспериментальными измерениями. В связи с этим может понадобиться калибровка установок на месте для более точного выявления закономерностей и совпадения результатов.