1.1 Подготовка поверхности подложки

Содержание

• Введение
• 1. Маршрут изготовление структур биполярных ИМС
• 1.1 Подготовка поверхности подложки
• 1.2 Термическое окисление
• 1.11 Термическое окисление
• 1.3 Нанесение фоторезиста
• 1.4 Совмещение и экспонирование
• 1.5 Проявление и задубливание
• 1.6 Травление SiO2
• 1.7 Удаление фоторезиста
• 1.23 Удаление фоторезиста
• 1.8 Локальная диффузия
• 1.9 Удаление SiO2
• 1.13 Локальная диффузия
• 1.15 Термическое окисление
• 1.16 Третья фотолитография
• 1.17 Локальное анизотропное травление
• 1.18 Удаление SiO2
• 1.19 Нанесение защитного слоя SiO2-Si3N4
• 1.20 Четвертая фотолитография
• 1.21 Травление Si3N4
• 1.24 Пятая фотолитография
• 1.25 Травление SiO2-Si3N4
• 1.26 Шестая фотолитография
• 1.27 Нанесение AL, седьмая фотолитография
• 2.1 Подготовка поверхности подложки
• 2.2 Первое термическое оксидирование
• 2.4 Нанесение фоторезиста
• 2.6 Совмещение и экспонирование
• 2.7 Проявление
• 2.8 Термообработка (вторая сушка)
• 2.9 Передача изображения с фотомаски на диоксид кремния
• 2.10 Жидкостное удаление фоторезиста
• 2.11 Локальная диффузия
• 2.12 Удаление пленки диоксида кремния
• 2.13 Эпитаксиальное наращивание
• 1.12 Вторая фотолитография
• 2.16 Локальная диффузия
• 2.17 Удаление диоксида кремния
• 2.18 Третье термическое оксидирование
• 2.21 Удаление пленки диоксида кремния
• 2.22 Нанесение защитного слоя SiO2
• 2.24 Четвертая фотолитография
• 2.25 Травление Si3N4
• 2.28 Пятая фотолитография
• 2.29 Травление SiO2-Si3N4
• 2.30 Шестая фотолитография
• 2.31 Нанесение AL
• 2.32 Cедьмая фотолитография
• 2.33 Резка пластины на кристаллы.
• 2.34 Монтаж кристаллов в корпус
• 2.35 Присоединение электродных выводов

Похожие материалы

• Основные виды и классификация интегральных микросхем.
• Интегральные микросхемы
• 1.6.3 Интегральные микросхемы
• 7. Исследование технологических процессов изготовления тонкопленочных интегральных микросхем.
• Технология изготовления кристаллов полупроводниковых интегральных микросхем
• С. Интегральные микросхемы
• 8.6 Интегральные микросхемы
• Понятие об интегральных микросхемах.
• На тему: «Интегральные микросхемы»