ВСТУП
В даній курсовій роботі розглядаються процеси, повязані із герметизацією інтегральних напівпровідникових та гібридних мікросхем, мікрозбірок та мікроблоків, оскільки найголовнішим завданням мікроелектроніки є створення максимально надійних електронних схем і пристроїв. Розглядаються корпусна та безкорпусна герметизація, різні види корпусів, в основі класифікації котрих лежать матеріали з яких вони виготовляються або їхня геометрична форма. Піддаються огляду та опису такі методи герметизації, як термокомпресія, зварювання непрямим імпульсним нагріванням, лазерне, холодне, електронно-променеве, аргонно-дугове, електроконтактне зварювання, герметизація ультразвуковим мікрозварюванням та інші. Розглядаються матеріали, які використовуються для безкорпусної герметизації і для виготовлення корпусів мікросхем.
Також розглядаються й аналізуються переваги і недоліки кожного методу з точки зору споживання енергії, можливості автоматизації технологічного процесу герметизації, вартості обладнання та установок, здатності використання в масовому чи тільки вузькому та спеціалізованому виробництві, часу, який затрачується на герметизацію інтегральних мікросхем, робочих температур мікрозварювання, котрі можуть призвести до виходу з ладу напівпровідникового кристалу.
- ВСТУП
- 1. ЗАГАЛЬНІ ВІДОМОСТІ ПРО ГЕРМЕТИЗАЦІЮ
- 1.1 Призначення процесу герметизації
- 1.2 Вимоги до захисту інтегральних мікросхем
- 2. ВИДИ ГЕРМЕТИЗАЦІЇ
- 2.1 Пасивування
- 2.2 Безкорпусна герметизація
- 2.3 Корпусна герметизація
- 3. МЕТОДИ ГЕРМЕТИЗАЦІЇ
- 3.1 Спаювання
- 3.2 Мікроконтактування
- 3.3 Термокомпресійне мікрозварювання (ТМ)
- 3.4 Зварювання непрямим імпульсним нагріванням
- 3.6 Зварювання здвоєним електродом
- 3.7 Лазерне зварювання
- 3.8 Електронно-променеве зварювання