logo
Датчик вторичных электронов с селекцией по энергиям для растрового электронного микроскопа

Введение

На текущий момент любая сфера деятельности человека окружена огромным и разнообразным перечнем устройств, которые предоставляют нам практически неограниченные возможности в медицине, навигации, связи, машиностроении, приборостроении, аэрокосмической отрасли, пищевой отрасли, металлургии и т. д., возможность передачи огромных массивов информации, производства композитных сплавов, выдерживающих колоссальные температуры и нагрузки, получения сверхчистых металлов. Самые привычные вещи, которые всюду встречаются и упрощают нашу повседневную жизнь стали для нас не заменимыми атрибутами общения и познания окружающего нас мира. Но за всеми этими, казалось простым и привычными возможностями, стоят тысячи сложнейших инженерных идей, практических решении, теорий, масса фундаментальных и прикладных наук, исследований в разных областях. Познавая и совершенствуя технологию человек получает возможность глубже проникать в природу протекающих процессов не только в макромире но и в микромире. Именно понимание законов микромира дало возможность создавать окружающую нас реальность.

На данный момент существует масса аналитического оборудования, которое позволяет наблюдать, контролировать качество, отслеживать дефектность поверхности, определять пространственные размеры разнообразных микро и нано объектов, отслеживать морфологию поверхности различных материалов органического и неорганического происхождения, получать всестороннюю информацию об элементном составе поверхности и приповерхностного слоя материала, о химических связях атомных частиц материала, взаимном расположении этих частиц, а так же об электронной структуры поверхности и ее отличиях от энергетического спектра электронов в объеме образца. Для получения такого рода информации существует множество методов анализа, таких как Электронная спектроскопия (Electron spectroscopy), растровая электронная микроскопия (scanning electron microscopy), просвечивающая электронная микроскопия (transmission electron microscopy), рентгеновский микроанализ (X-ray microanalysis), РСМА с протонным зондом, вторично-ионная масс спектрометрия (Secondary-ion mass spectrometry), атомно-силовая микроскопия (atomic force microscopy), рентгеноструктурный анализ.