logo search
3D-MID: области применения и технологии производства

2.1.1 3D-фотолитография

Схема процесса 3D-фотолитографии показана на Рис. 3.

  • Вся поверхность заготовки, литой из термопласта, активируется, и производится химическое осаждение меди на нее. Затем наносится, экспонируется через 3D-фотошаблон и проявляется фоторезист. После этого проводится гальваническое осаждение меди. На следующем этапе наносится металлорезист (Sn), после чего удаляется фоторезист. Затем производится травление меди и нанесение финишного покрытия.
  • Рис. 3 Схема процесса 3D-фотолитографии