Проектирование интегрального параметрического стабилизатора напряжения

курсовая работа

2. Методы изоляции и технологии изготовления интегральных схем

Для нормальной работы ИМС необходимо, чтобы элементы или группы элементов были размещены в электрически изолированных друг от друга областях. Эти области должны иметь следующие электрические и физические свойства: напряжение пробоя изоляции более высокое, чем напряжение питания ИМС; малую паразитную емкость, небольшие токи утечки, высокую теплопроводность, близость коэффициента термического расширения (КТР) изолирующей области к КТР кремния, большую радиационную стойкость, малую площадь, отводимую под изоляцию. Технологию изготовления ИС различают по принципу создания изоляции.

Делись добром ;)