Разработка и исследование методов компенсации динамической температурной погрешности интегральных тензопреобразователей

дипломная работа

ОПРЕДЕЛЕНИЯ, ОБОЗНАЧЕНИЯ И СОКРАЩЕНИЯ

УЭ - упругий элемент

ТР - тензорезистор

ЧЭ - чувствительный элемент

ИС - интегральная схема

ПЧЭ - полупроводниковый чувствительный элемент

КНС - кремний на сапфире

ТП - тензопреобразователь

ТКС - температурный коэффициент сопротивления

ТКЧ - температурный коэффициент чувствительности

ТКЛР - температурный коэффициент линейного расширений

NS - поверхностная концентрация примесей бора

ТА - температура отжига ионнолегированного резистора

U0 - начальный разбаланс мостовой схемы

Еп - напряжение питания

RT - термистор

RШ - шунтирующее сопротивление

RД - добавочное сопротивление

I - ток

М(х) - математическое ожидание

D(x), у2 - дисперсия

х - истинное значение (входной) величины

yg - результат измерения

bij - коэффициенты регрессии

SUMost - остаточная сумма

med - медиана

- среднее арифметическое

Ф(x) - функция нормального распределения

ш (x) - весовая функция

P - давление

Т - температура

NP - код давления

NT - код температуры тензомоста

N?T/?t - код приращения температуры

ОС - обратная связь

ФП - функция преобразования

ИП - измерительный преобразователь

ММ - математическая модель

ГХ - градуировочная характеристика

МНК - метод наименьших квадратов

СКО - среднее квадратическое отклонение

Делись добром ;)