Технология изготовления схемы интегрального усилителя

курсовая работа

2.2.3 Расчет режимов окисления для создания защитной маски

Как правило, получение оксида для создание маски проводится одновременно с разгонкой примеси, чтобы лишний раз не нагревать подложку. Качество покрытия особо не важно, поэтому окисление проводится во влажном кислороде.

Время разгонки примеси в базовой области t=, температура разгонки Т=1150°С. Так как время немаленькое, то окисление будет проходить по параболическому закону. Параболическая константа В=0,720 мкм2/ч, ф=0.

Делись добром ;)