1.3.1 Оптичні властивості тонких плівок ТіN
Оптичні спектри пропускання плівок, отриманих при концентрації N2 0,5%, показані на рис. 1.10, на якому спостерігають смугу пропускання у області довжин хвиль (300-1000 нм) і низьке пропускання в області більш високих довжин хвилі [18]. Відсоток пропускання і ширина смуги пропускання збільшується, і пік пропускання зміщується в бік вищих довжин хвилі (376-475 нм) із зменшенням товщини плівок л.
Рис. 1. 10. Спектри пропускання плівок, отриманих при концентрації N2 0,5%. На вставці показано зсув довжини хвилі положення піку пропускання від товщини плівок.
Спектральні залежності оптичних постійних, таких як показник заломлення (n) і показник поглинання (k) плівок TiN, показані на рис. 1.11, 1.12. Показник заломлення n плівок різної товщини отриманих при концентрації N2 0,5 % показує схожу спектральну поведінку і володіє максимумом n при довжині хвилі ~ 300 нм і мінімумом в діапазоні довжин хвиль 500-600 нм.
Рис. 1.11. Спектральні залежності показник заломлення (n) тонких плівок ТіN.
Показник поглинання k для цих плівок володіє мінімумом в діапазоні довжин хвиль 300-400 нм з різким збільшенням з довжиною хвилі. Також, плівки товщиною 60 нм, які отримувалися при різних концентраціях N2 (3-34%) показали аналогічну спектральну поведінку n з мінімумом і максимумом в діапазонах довжин хвиль 500-530 нм і 372-450 нм відповідно.
Рис. 1.12. Спектральні залежності показник поглинання (k) тонких плівок ТіN.
Приведений літературний огляд свідчить про значну зацікавленість учених з усього світу у дослідженні тонких плівок ТіN з метою використання останніх для виготовлення захисних і декоративних покриттів, електричного контакту в ортопедичних протезах, суперконденсаторів, приладів електроніки і фотовольтаїки. Серед основних висновків до першого розділу слід виділити наступні:
1. Нітрид титану - це бінарна хімічна сполука титану з азотом, яка являє собою фазу впровадження з широкою областю гомогенності, яка становить від 10 до 22,6% азоту (за масовою часткою), що можна позначити формулами від TiN0, 60 до TIN1, 0 відповідно.
2. Аналіз фізичних властивостей тонких плівок нітриду титану показав, що тонкі плівки TiN можуть володіти як металевою так і напівпровідниковою провідністю, і які володіють вдалою сукупністю фізико-хімічних параметрів: низький питомий опір, досить високий коефіцієнт пропускання у видимій частині спектру, високий коефіцієнт відбивання в інфрачервоній частині спектра, висока твердість та зносостійкість.
3. Проаналізовано можливості застосування плівок нітриду титану, та встановлено, що ці плівки в останні роки застосовуються в різноманітних приладах електроніки та фотовольтаїки.
- Вступ
- Список умовних позначень, термінів та скорочень
- 1. Аналітично-оглядова частина
- 1.1 Поляризація оптичного випромінювання
- 1.1.1 Поняття поляризованого випромінювання
- 1.1.2 Опис поляризаційних параметрів випромінювання
- 1.1.3 Поляризацiйнi властивостi когерентного випромiнювання при багаторазовому розсiюваннi
- 1.2 Тонкі плівки
- 1.2.1 Структурна модель тонких плівок
- 1.2.2 Дифузне розсіювання носіїв заряду. Залишкова рухливість. Мозаїчні плівки
- 1.2.3 Полікристалічні плівки
- 1.2.4 Розсіювання на дислокаціях невідповідності. Гетероструктури
- 1.3 Властивості тонких плівок нітриду титану (TiN) та їх використання
- 1.3.1 Оптичні властивості тонких плівок ТіN
- 1.3.2 Дослідження поверхневої морфології тонких плівок ТіN
- 1.3.3 Оптичні константи та коефіцієнти тонких плівок ТіN
- 1.3.4 Механічні властивості нанокерамікі на основі TiN
- 1.4 Прополіс
- 1.4.1 Хімічний склад прополіса
- 1.4.2 Електрофізичні та сорбційні характеристики
- 2. практична частина
- 2.1 опис експериментальної установки
- 2.2 Методика вимірювання параметрів Стокса
- 6.2.3. Дослідження твердофазної взаємодії при спіканні сфалеритного нітриду бора з карбідом і нітридом титану в присутності кисню при високому тиску
- Загальна оптика плівок металів
- Лабораторна робота 2 Дослідження епітаксіального росту тонких металевих плівок
- 2.3.Методи виготовлення тонких плівок.
- 12.1 Отримання ізоляційних плівок Si
- Методи отримання тонких плівок
- 18.1 Нітрид титану
- Задачі та вправи
- Iiiтехнологія тонких плівок