Малошумящий интегральный усилитель
5.6 Создание верхних обкладок конденсаторов
- Методом вакуумного термического напыления наносится сплошной слой Cu толщиной 0,2 мкм;
- Нанесение позитивного фоторезиста и сушка пластины, совмещение фотошаблона 5 (экспонирование не заштрихованной области, приложение 6) с поверхностью пластины, облучение ультрафиолетовым излучением, проявление фоторезиста и задубливание;
- Травление пленки меди в хлорном железе;
- Удаление фоторезиста.
Содержание
- Введение
- 1. Анализ технического задания
- 2. Проектирование малошумящего полевого транзистора с затвором Шоттки
- 2.1 Определение толщины обедненной области
- 2.2 Определение значения порогового напряжения перекрытия канала
- 2.3 Определение геометрических размеров полевого транзистора Шоттки
- 3. Функциональное проектирование усилителя
- 3.1 Получение схемы электрической принципиальной
- 3.2 Исследование влияния сопротивления нагрузки на коэффициент шума и другие характеристики ПТШ
- 4. Разработка конструкции и топологии кристалла
- 4.1 Расчет геометрических размеров конденсаторов
- 4.2 Расчет геометрических размеров резисторов
- 4.3 Разработка топологии кристалла
- 5. Разработка технологии изготовления кристалла
- 5.1 Технологическая очистка поверхности кристалла
- 5.2 Формирование резисторов и транзисторов в n и n+ слоях
- 5.3 Создание резисторов и нижних обкладок конденсатора
- 5.4 Создание слоя диэлектрика Та2O5 в конденсаторах
- 5.5 Напыление SiO2
- 5.6 Создание верхних обкладок конденсаторов
- 5.7 Создание окон для затворов и омических контактов
- 5.8 Создание затворов
- 5.9 Создание омических контактов
- 5.10 Создание проводящих дорожек и контактных площадок
- 5.11 Соединение стоков
- 5.12 Создание защитного слоя диэлектрика
- Заключение
Похожие материалы
- 11 Общая характеристика малошумящих усилителей
- Усилители радиочастот – мшу
- 6.6Особенности применения полевых арсенид-галлиевых свч транзисторов в малошумящем усилителе
- 6.5Структура предварительного малошумящего усилителя сигналов свч
- Лекция №20 малошумящие усилители
- Тема 2.4. Малошумящие усилители
- Чувствительный микрофон с усилителем на малошумящих транзисторах
- 4.3. Малошумящие усилители.
- Малошумящий усилитель (мшу)