Методика расчета емкостного интерфейса микромеханического акселерометра
дипломная работа
3.1 Введение
Есть много параметров для оценки рабочих характеристик акселерометра. В этом проекте, мы сосредоточились на четырех самых важных: чувствительность акселерометра, минимальное обнаруживаемое ускорение (шум), максимальное обнаруживаемое ускорение (обнаруживаемый диапазон), и ширину полосы частот пропускания.
Рисунок 4. Модель пружина - масса - демпфер для акселерометра