Методика расчета емкостного интерфейса микромеханического акселерометра
3.2 Уравнение движения акселерометра
Дифференциальное уравнение движения акселерометра по координате x:
(3.1)
где kx - жесткость пружины, Bx - коэффициент демпфирования, mx - эффективная масса, Fext - внешняя сила, и aext - внешнее ускорение.
В следующих разделах, проводятся расчёты коэффициента жёсткости пружины, массы чувствительного элемента, и коэффициента демпфирования как функции заданных переменных.
Содержание
- Введение
- 2. Краткое описание конструкции акселерометра
- 3. Основные проектные параметры акселерометра
- 3.1 Введение
- 3.2 Уравнение движения акселерометра
- 3.2.1 Коэффициент жесткости пружин
- 3.2.2 Методика расчета чувствительного элемента
- 3.2.3 Демпфирование чувствительного элемента
- 3.2.4 Электростатический компенсатор
- 3.2.5 Электростатическая пружина
- 3.3 Показатели назначения акселерометра прямого измерения
- 3.3.1 Чувствительность акселерометра
- 3.3.2 Порог чувствительности акселерометра
- 3.3.3 Максимальное измеряемое ускорение
- 4. Синтез топологии чувствительного элемента акселерометра
- 4.1 Конструкционные параметры
- 4.2 Конструктивные ограничения
- 4.2.1 Геометрические связи
- 4.2.2 Функциональные ограничения
- 4.3 Синтез топологии акселерометра
- 4.4 Результаты синтеза топологии акселерометра
- Часть II: Методика расчета емкостного интерфейса микромеханического акселерометра
- 1. Методика расчета емкостного интерфейса микромеханического акселерометра
Похожие материалы
- 6.2.1.2 Микромеханический акселерометр осевого типа
- 6.2 Устройство и функционирование микромеханических гироскопов и акселерометров
- 6.2.1.1 Микромеханический акселерометр маятникового типа
- 6.2.1.1.1 Конструкция
- 6.2.1.2.1 Конструкция
- Микромеханический вибрационный гироскоп
- Акселерометры
- Емкостной акселерометр
- 17.Акселерометры
- 5.5. Микромеханические датчики инерциальной информации.