Текстура поверхности

При травлении в плазме в ряде случаев исходная гладкая поверхность сохраняется, тогда как при использовании других плазменных травителей она становится неровной или текстурированной.

На поверхности монокристаллического кремния и двуокиси кремния при травлении в плазме CF₄иCF₄/O₂происходит развитие шероховатости. Размер и форма рельефа зависят в основном от толщины стравленного слоя и отличаются для кремния и двуокиси кремния. При малых толщинах удаленного слоя поверхность кремния становится тонкогранулированной. С увеличением толщины появляются мелкие ямки неопределенной формы. Окисление поверхности уменьшает поверхностную шероховатость, образовавшуюся в результате обработки в плазме.