logo search
Методичка

I. Выращивание кристалла кремния

1. Из расплава чистого кремния вытягивается монокристалл кремния цилиндрической формы по методу Чахральского. Этот цилиндр режется на пластины толщиной около 0,6 мм и диаметром 300 мм.

2. Поверхность каждой пластины полируется до тех пор, пока она не станет зеркально гладкой и свободной от дефектов.