Глава 5. Задающие и исполнительные устройства

1. КЛАССИФИКАЦИЯ ЗАДАЮЩИХ И ИСПОЛНИТЕЛЬНЫХ

УСТРОЙСТВ

Задающие устройства предназначены для задания тре­буемого значения регулируемого (управляемого) параметра. По виду вырабатываемых сигналов задающие устройства подразде­ляют на два основных класса: аналоговые и цифровые. Аналоговые в свою очередь делят на непрерывные и дискретные, при этом дискретность может осуществляться как во времени, так и по значению вырабатываемого сигнала. Цифровые задающие устрой­ства формируют только сигналы дискретных уровней.

Существенным признаком классификации является род энергии вырабатываемых сигналов. В соответствии с этим признаком различают задающие устройства с электрическими, пневмати­ческими, гидравлическими и механическими (в виде перемещений и усилий) сигналами. Для своей работы задающие устройства потребляют энергию от внешнего источника, вид которой может не совпадать с видом энергии сигнала. Так, например, в регуляторах прямого действия задающие устройства обычно вырабаты­вают механические сигналы, а для своей работы потребляют электрическую энергию.

Одним из важнейших признаков задающих устройств является вид носителя программы. В задающих устройствах непрерывного действия наиболее часто для этих целей используют кулачковые и рычажные механизмы, функциональные потенциометры и бу­мажную диаграмму. В задающих устройствах дискретного дей­ствия находят применение многоцепные переключатели, перфо­карты и перфоленты, магнитная пленка и кинопленка.

Исполнительное устройство является промежуточным пре­образователем, состоящим из двух самостоятельных узлов: испол­нительного механизма и регулирующего (управляющего) органа.

Исполнительные механизмы предназначены для воздействия через регулирующий орган или непосредственно на объект управ­ления. В исполнительный механизм входят двигатель и пере­даточное устройство. Основными параметрами, характеризую­щими работу исполнительных механизмов, являются усилие на выходе механизма, коэффициент усиления по мощности, линейное или угловое перемещение, частота вращения, быстродействие и т. п.

В зависимости от управляющего воздействия на выходе раз­личают два вида исполнительных механизмов: силовые и пара­метрические.

Если исполнительные механизмы создают управляющее воз­действие на регулирующий орган в виде силы или момента, то такие механизмы называют силовыми. К этой группе относятся электромагниты, электромеханические муфты, различного вида двигатели. Если изменение состояния регулирующего органа связано с изменением его параметров (сопротивления, магнитного потока, температуры, скорости и т. п.) или параметров подводимой энергии (напряжения, тока, частоты и фазы электрического тока, давления рабочей среды и т. п.), то те же исполнительные меха­низмы называют параметрическими. Например, в автоматическом термостате исполнительным механизмом является усилитель, нагрузкой которого служит нагревательный элемент (регулиру­ющий орган) термостата. При отклонениях температуры от задан­ного значения изменяется входное напряжение усилителя, при этом изменится и выходное напряжение, а также ток в нагрева­тельном элементе и температура в термостате. В этом устройстве усилитель совмещает функции элемента усиления и исполнитель­ного механизма.

В зависимости от вида потребляемой энергии различают элек­трические, гидравлические, пневматические и механические испол­нительные механизмы. Наибольшее распространение в системах автоматики получили электрические механизмы.

В зависимости ог характера движения выходного вала испол­нительные механизмы делят на три вида: с линейным, поворотным (угол поворота меньше 360°) и вращательным (угол поворота больше 360°) движением.

Регулирующим органом называется устройство (блок исполни­тельного устройства), которое изменяет расход энергии или вещества и непосредственно влияет на регулируемую величину объекта регулирования. Так, например, с помощью регулиру­ющих органов можно изменять количество хладоносителя, подава­емого в теплообменник холодильной машины, или устанавливать напряжение и силу электрического тока на нагревательных элементах термической печи.

По принципу регулирующего воздействия на объект различают дросселирующие и дозирующие регулирующие органы. Первые представляют собой переменное гидравлическое сопротивление. За счёт изменения проходного сечения дросселирующего устрой­ства регулируется расход вещества. Ко вторым относятся устрой­ства или механизмы, которые регулируют поступление вещества или энергии путем изменения своей производительности.

Наиболее широкое распространение получили дросселиру­ющие регулирующие органы, хотя дозирующие более экономичны.

2. ЗАДАЮЩИЕ УСТРОЙСТВА

Большинство задающих устройств состоит из трех основных элементов: привода, носителя программы и элемента настройки. В зависимости от конструктивного оформления устрой­ства отдельные элементы могут быть функционально совмещены.

Наиболее распространенными приводами задающих устройств непрерывного действия являются синхронные электрические дви­гатели и часовые механизмы. В качестве носителей программы в задающих устройствах непрерывного действия обычно испольч зуют механические устройства, рычажные механизмы и функцио­нальные потенциометры.

Механическими носителями программы в задающих устрой­ствах непрерывного действия являются кулачковые механизмы различной конструкции. Назначение кулачковых механизмов состоит в преобразовании вращательного движения кулачка или прямолинейного движения кулачковой линейки в качательное или прямолинейное движение щупа толкателя. С точки зрения обеспечения постоянного контакта кулачка со щупом кулачковые механизмы делят на устройства с силовым замыканием, т. е. открытые (рис. 36, а и г), и устройства с кинематическим за­мыканием (с канавкой), которые называются закрытыми (рис. 36, бив).

Кулачки с силовым замыканием проще в изготовлении и обес­печивают большую точность. Закрытые кулачки целесообразно применять при малой мощности привода, так как из-за отсут­ствия натяжения пружины уменьшается момент сопротивления. Применение закрытых кулачков целесообразно также при больших

а) б)

Рис. 36. Типы кулачков:

цилиндрический закрытый; г

перемещениях щупов. Выбор между плоскими и цилиндрическими кулачками определяется только конструктивными соображени­ями, связанными с общей компоновкой задающего устройства.

Кроме кулачковых механизмов, в качестве механических носителей заданной функции применяют рычажные механизмы, отношение плеч которых используется, например, для установле­ния заданного соотношения расходов в струйном гидравлическом регуляторе.

В электрических программных и следящих регуляторах носи­тели программ, как правило, выполняют в виде функциональных потенциометров.

По способу реализации заданной функции потенциометры подразделяют на профильные, ступенчатые (частный случай про­фильных), с некруглым винтовым каркасом, с переменным шагом намотки, с секциями, выполненными из провода различного сечения, с дополнительными постоянными резисторами, шунти­рующие обмотку, имеющую отводы (рис. 37, а—е).

В зависимости от угла поворота движка потенциометры раз­деляются на три вида: с углом вращения движка менее 360°;

а — профильный; б — ступенчатый; в — с иекруглым каркасом; г — с переменным шагом намотки; д — с секциями, выполненными из провода различного сечеиия; е — с шунти­рующими резисторами

Рис. 37. Функциональные потенциометры:

с углом вращения движка более 360°; с неограниченным углом вращения движка.

Сечение каркаса может быть круглым или плоским (с большим отношением высоты к толщине).

В задающих устройствах по соображениям простоты изготовле­ния, возможности получения необходимой точности и взаимо­заменяемости наибольшее распространение получили профильные потенциометры с плоскими каркасами и посекционношунтирован- ные потенциометры с отводами обмотки, выполненной на круглых каркасах.

Погрешность воспроизведения сложных функций для рассмо­тренных профильных и ступенчатых потенциометров дости­гает ±2 %.

Всем рассмотренным задающим устройствам непрерывного действия присущи общие недостатки: невозможность изменения программы без выключения регулятора; ограниченное быстродей­ствие; точность задания программы определяется как точностью изготовления деталей, так и точностью их сборки. Перечисленные недостатки отсутствуют у задающих устройств дискретного дей­ствия, поэтому они получают в настоящее время все большее распространение.

В качестве привода сменных носителей программ в дискретных задающих устройствах применяют шаговые двигатели различных видов.

Все носители программ дискретных задающих устройств могут быть условно разделены на две категории: сменные и постоянные. К первой категории относятся перфокарты, перфоленты, ленты с нанесенными оптическими метками (использующие как неравно­мерную прозрачность, так и неравномерную отражательную способность), магнитные ленты и диски (однако два последних носителя при смене не заменяются; стирание старой программы и запись новой равноценны замене). Вторую категорию составляют «схемные» носители программы, представляющие собой много­цепные переключатели, элементы которых связаны между собой в соответствии с заданным алгоритмом функционирования.

Перфокарты изготовляют из плотной бумаги, а перфоленты — из такой же бумаги или лавсана. На перфокарте или перфоленте пробиваются отверстия, совокупность которых составляет код программы. Если цикл программы повторяется, то перфолента может быть свернута в кольцо. Для считывания сигналов с перфо­карты или перфоленты используют контактные щетки или фото­элементы.

Оптические носители (кинолента, бумажная или лавсановая лента) выполняют аналогичные функции, что и перфолента, но считывание с них осуществляется только с помощью различных фотоэлементов. Разрешающая способность оптических носителей в основном определяемая качеством оптической системы, дости­гает 5—10 знаков на 1 мм длины.

Магнитные носители программы, широко используемые в циф­ровых ЭВМ, находят неограниченное применение в дискретных задающих устройствах промышленных станков с числовым про­граммным управлением, где они заняли преобладающее место.

В качестве постоянных носителей программы находят широкое применение многоцепные переключатели различного вида, в каче­стве которых используют шаговые искатели, многоцепные реле времени, переключающие бесконтактные устройства и др.

3. ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫЕ МЕХАНИЗМЫ

Электрические исполнительные механизмы в зависи­мости от типа принципа действия делят на электромагнитные и электродвигательные.

Электромагнитные исполнительные механизмы являются наи­более простыми, надежными и быстродействующими из электри­ческих исполнительных механизмов. Их используют для управле­ния различного рода регулирующими и затворными клапанами, вентилями, золотниками и т. п. По виду движения исполнитель­ного (регулирующего) органа (шток, выходной вал) электро­магнитные механизмы подразделяют на электромагниты с прямо­линейным движением и электромагнитные муфты с вращательным движением.

В. зависимости от требований электромагниты могут отли­чаться друг от друга конструктивно. Однако они имеют общие элементы (рис. 38): катушку 2, подвижный сердечник 3, возврат­ную пружину 1. С помощью подвижного сердечника энергия магнитного поля преобразуется в механическую и через шток 4 передается запирающему элементу. Перемещение сердечника, при котором происходит движение запирающего элемента, назы­вают рабочим ходом 6.

По характеру движения сердечника и связанного с ним регу­лирующего органа электромагнитные механизмы подразделяют на тянущие, толкающие, поворотные, удер­живающие и реверсивные.

В тянущих механизмах линейное пере­мещение сердечника направлено от точки приложения противодействующих сил, а в тол­кающих — наоборот. В поворотных электро­магнитных механизмах при подаче напряже­ния на обмотку катушки силовой элемент по­ворачивается на определенный угол. Примене­ние поворотных механизмов ограничивается вследствие малых крутящих моментов и гро­моздкости конструкции.

Реверсивные электромагнитные механизмы обеспечивают изменение'"перемещения силового элемента в зависимости от характера электрического сигнала. Реверсивный механизм обычно содержит два электромагнита, сердечники которых механически связаны с запирающим элементом.

По количеству позиций выходного силового элемента (регули­рующего органа) различают одно-, двух- и трехпозиционные электромагнитные механизмы. У однопозиционных механизмов при подаче тока на обмотку катушки сердечник занимает одно определенное положение. У двухпозиционных механизмов сило­вой элемент занимает одно из двух положений в зависимости от того, на обмотку какого электромагнита подается электрический ток. После обесточивания он сохраняет занятое им положение. Выходной силовой элемент трехпозиционных электромагнитных механизмов при отсутствии тока в обмотках занимает нейтральное положение.

В зависимости от вида питающего напряжения электромагнит­ные механизмы могут быть переменного и постоянного тока, а также со сменными катушками переменного и постоянного токов с унифицированным магнитопроводом.

В настоящее время получили широкое распространение элек­тромагнитные приборы серии ЭВ. Приводы ЭВ-1 и ЭВ-2 рассчи­таны на длительный режим работы, а привод ЭВ-3 рассчитан на кратковременный режим работы (в течение 1 мин) при усилии 100 Н.

В термических и литейных цехах исполнительные механизмы с электромагнитным приводом используют в регуляторах темпе­ратуры в топливных печах, давления и расхода сжатого воздуха в формовочных машинах.

Электромагнитные муфты являются связующим звеном между приводом и регулирующим органом. Электромагнитные муфты обладают высоким быстродействием, плавным пуском и регулиро­ванием скорости, просты в управлении и имеют мощность от нескольких ватт до сотен киловатт.

По принципу действия электромагнитные муфты разделяют на фрикционные и порошковые муфты и муфты скольжения.

Фрикционная муфта (рис 39) состоит из двух полумуфт: ведущей 1 и ведомой 6, посаженных на валы 3 и Р. В корпусе ведущей полумуфты имеется обмотка 5, питаемая электрическим током через кольца 4 и щетки 2. При подаче постоянного электри­ческого тока на обмотку возникает магнитный поток, который притягивает по шлицам 8 к себе ведомую полумуфту. Последняя, преодолевая усилие пружины 7, притягивается к ведомой полу- муфте. Силы трения между полумуфтами позволяют передать крутящий момент с ведущего вала на ведомый. При выключении тока магнитное поле исчезает, и пружины 7 разъединяют полу­муфты друг от друга, прерывая тем самым вращение вала 9. Однодисковые муфты не позволяют передавать большие крутящие моменты. Для этого используют многодисковые муфты, имеющие большое число поверхностей трения.

г г

Рис. 39. Электромагнитная фрикцион- Рис. 40. Электромагнитная порошко-

иая муфта вая муфта

Порошковые муфты (ферропорошковые или магнитоэмульсион­ные) работают по принципу намагничивания ферромагнитной среды, заполняющей пространство между полумуфтами 1 и 2 (рис. 40). Ферромагнитная среда 4 представляет собой обычно смесь порошка карбонильного или кремнистого железа и смазы­вающего вещества (тальк, графит, масло), улучшающего проскаль­зывание полумуфт при холостом ходе и уменьшающего истирание ферропорошка. При подаче тока в обмотку 3 ведущей пол у муфты 1 возникает магнитное поле, намагничивающее отдельные частички железного порошка, которые слипаются между собой, увеличивая вязкость ферромагнитной среды. Ведомая полумуфта 2 начинает вращаться, передавая вращение на объект управления. Вязкость ферромагнитной среды зависит от силы тока в обмотке, следова­тельно, можно при росте тока увеличивать передаваемый крутя­щий момент. Таким образом, муфты вязкого трения являются управляемыми, т. е. позволяют плавно регулировать вращающий передаваемый момент, а следовательно, и частоту вращения ведо­мого вала.

і

Рис. 41. Электромагнитная муф­та скольжения

Промышленность выпускает муф­ты- для механизмов малых мощно­стей типа ПМС с номинальным мо­ментом 1,7 ... 30 Н-м. Для меха­низмов большей мощности выпускают муфты серии ИМС с номинальными моментами 70 ... 1600 Н-м.

Электродвигательный механизм состоит из исполнительного двига­теля редуктора и тормоза. Сйгнал управления одновременно подается на двигатель и тормоз, при этом тормоз растормаживается и двига­тель приводит в движение регули­рующий орган. При снятии сигнала двигатель выключается, а тормоз останавливает движение регулирующего органа.

Исполнительными двигателями называют управляемые дви­гатели малой мощности, которые предназначены для преобразо­вания электрического сигнала в механическое вращение вала.

Как правило, исполнительные двигатели имеют две обмотки: возбуждения и управления. Исключение составляют двигатели с постоянными магнитами. Обмотки возбуждения постоянно на­ходятся под напряжением, а на обмотку управления сигнал подается лишь тогда, когда необходимо получить вращение вала. Так как исполнительные двигатели работают в схемах управления, то для них в основном характерны пуски, остановки или реверсии. Время их вращения обычно невелико, поэтому эти двигатели никогда не снабжаются вентиляторами. В цепях сопряжения переходных процессов исполнительные двигатели стремятся вы­полнить малоинерционными и малогабаритными. В настоящее время в качестве исполнительных двигателей используют двух­фазные асинхронные, синхронные шаговые двигатели и двигатели постоянного тока.

Типы электродвигателей, их устройство и схемы выключения изучаются в курсе «Общая электротехника» и поэтому здесь не рассматриваются.

4. ГИДРАВЛИЧЕСКИЕ И ПНЕВМАТИЧЕСКИЕ

ИСПОЛНИТЕЛЬНЫЕ МЕХАНИЗМЫ

Гидравлические и пневматические исполнительные дви­гатели преобразуют энергию рабочей среды, находящейся под давлением, в механическую энергию поступательного или вра­щательного движения.

В качестве рабочей среды в гидродвигателях чаще всего исполь­зуется минеральное масло, сохраняющее свои свойства при воз­действии на него высокого давления. В пневмодвигателях рабочей средой служит сжатый воздух./ г

т

,7

\р,

Рис. 42. Мембранный исполнительный Рис. 43. Поршневой исполнительный механизм ‘механизм

В устройствах автоматического управления гидро- и пневмо- двигатели используют значительно реже, чем электрические. Однако в ряде случаев они оказываются единственно приемлемыми в техническом отношении.

Гидро- и пневмодвигатели способны развивать очень большие усилия (0,03 ... 0,3 МН) при малых габаритных размерах. По этим параметрам они превосходят все остальные двигатели. Они просты по конструкции, надежно работают и не нуждаются в ре­дукторах для согласования с регулирующим органом. Гидравли­ческие и пневматические двигатели имеют одинаковый принцип действия, их различие лишь в быстродействии.

Различают две основные разновидности гидро- й пневмодви­гателей: с поступательным движением (мембранные и поршневые) и с вращательным движением (шестеренчатые, лопастные, плун­жерные и турбинные).

В мембранном исполнительном механизме (рис. 42) перемеще­ние выходного штока 4 осуществляется силой, создаваемой давле­нием.рабочей среды на мембрану 2. При этом возвратная пружина 3 сжимается. Чем больше диаметр мембраны, тем большее усилие может быть передано на регулирующий орган. Полость под мемб­раной соединена с атмосферой. При снятии давления мембрана и, следовательно, шток возвращаются возвратной пружиной в исходное положение. Диски 1 обеспечивают жесткость мемб­раны, изготовленной из прорезиненной ткани.

Значительно реже применяют поршневые исполнительные ме­ханизмы. Их используют в тех случаях, когда шток необходимо перемещать на расстояние более 300 мм.

В цилиндре 1 исполнительного механизма (рис. 43) переме­щается поршень 2 со штоком 3. Поршень будет неподвижен при равенстве давлений Р_г и Р₂. Если давление в левой полости больше, то на поршень будет действовать сила, равная разности давлений Р_г и Р₂, умноженной на площадь поверхности поршня. Под действием этой силы поршень начнет перемещаться вправо. Шток 3 проходит через уплотнительный сальник 4.

Рис. 44. Регулирующая заслонка

золотники, устройства типа сопло-заслонка или струйные трубки. При объемном управлении в качестве источников энергии исполь­зуют насосы или компрессоры переменной производительности.

Гидро- и пневмодвигатели применяют в устройствах привода автоматических манипуляторов и исполнительных механизмов, дозаторов, затворов и питателей, предназначенных для регули­рования расходов формовочных и других сыпучих и пусковых материалов.

б. РЕГУЛИРУЮЩИЕ ОРГАНЫ

Для непрерывного регулирования в запорно-регулиру- ющих устройствах применяют дросселирующие регулирующие органы следующих типов: заслонки, клапаны, краны, шиберы и направляющие аппараты. '

В заслонках (рис. 44) изменение пропускной способности достигается поворотом заслонки (диска) в седле. Они просты по конструкции и имеют удовлетворительные регулировочные свойства. Заслонки можно устанавливать на вертикальных и горизонтальных участках трубопроводов. Они получили широкое распространение в литейных и термических цехах для регулиро­вания потоков газа и воздуха в трубопроводе с избыточным давлением до 0,25 МПа.

Клапаны применяют для регулирования расходов газа, воздуха или пара при давлении до 20 МПа. В зависимости от числа поло­жений их подразделяют на двух- и трехходовые.

В зависимости от положения запирающего элемента при обесточенной катушке двухходовые клапаны делят на нормально закрытые (рис. 45, а) и нормально открытые (рис. 45, б). В нормально закрытом клапане при отсутствии тока проходной канал закрыт, а в нормально открытом — открыт. Тяговое усилие большинства электромагнитов резко уменьшается с увеличением хода сердечника, что вызывает увеличение габаритных размеров и потребляемой мощности. Поэтому в клапанах с электромагнит­ными механизмами применяют уравновешивающие запирающие элементы (рис. 45, в) и встроенные усилители (рис. 45, г).

В соответствии с типом дроссельного органа клапаны делят на золотниковые, диафрагмовые и шланговые.

Золотниковые клапаны бывают односедельные (рис. 45, а и б), двухседельные (рис. 45, в) и многоседельные. Запорные элементы всех клапанов выполняют либо в форме тарелки (рис. 45, а—в), либо с кониче­ской (рис. 45, г) или шаровой поверхностью.

Трехходовые (распределительные) клапаны имеют три при­соединительных прохода, через которые два потока соединяются в один (рис. 45, 5) или один поток разделяется на два (рис. 45, е).

Краны являются простейшими регулирующими органами, которые применяют для регулирования расхода потока в трубо­проводах небольшого сечения. Наиболее распространенной яв­ляется конструкция крана с пробкой в виде усеченного конуса, притертого к корпусу. В пробке имеется отверстие круглой, овальной или прямоугольной формы, сквозь которое протекает регулируемая среда. Поворотом пробки регулируется расход жидкости, протекающей по трубопроводу.

Шиберы устанавливают в дымоходах топливных плавильных и термических печей. Они предназначены для регулирования давления в рабочем пространстве печи.

При изменении входной скорости газа или воздуха дымососов и вентиляторов изменяются их производительность и напор. На этом свойстве основано устройство регулирующего органа на базе направляющего аппарата. Регулирующий орган, выполненный в виде направляющего аппарата, практически безынерционен и более экономичен, чем регулирующий орган, использующий дросселирование потока.

Дозирующие исполнительные органы подразделяют на две группы: механические и электрические. К первой группе относятся плужковые сбрасыватели, дозаторы, питатели, насосы, компрес­соры. Во вторую группу входят реостатные и автотрансформатор­ные регулирующие органы.

Плужковые сбрасыватели широко применяют в литейных цехах для регулирования уровня различных формовочных мате­риалов в бункерах бегунов, формовочных и стержневых машин. Плужки выполняют в виде лемеха плуга или другого скребкового устройства и устанавливают над ленточным транспортером с дви­жущимся сыпучим материалом. Плужок может занимать два положения: на ленте или над ней.

Дозаторы представляют механизмы, предназначенные для вы­дачи потока материала с обеспечением требуемого значения расхода.

Практически для всех сыпучих материалов, кроме порошко­образных, могут применяться одни и те же дозаторы. Для порош­ковых материалов используют дозаторы, исключающие само­произвольное движение материала.

Дозаторы непрерывного действия различают по способу регу­лирования производительности, типу систем автоматического регу­лирования, характеристики дозируемого материала и конструк­тивным признакам.

Рис. 46. Схемы рабочих органов дозаторов:

а — ленточный питатель; б — вибропитатель; в — тарельчатый питатель; г — шнеко­вый питатель; д — секторный питатель; е — гравитационный питатель

В зависимости от способа регулирования производительности все дозаторы делят на механизмы с автоматическим регулирова­нием и без автоматического регулирования.

В связи с большим разнообразием физико-химических свойств дозируемых материалов и условий, в которых работают дозаторы, разработаны различные конструкции рабочих (регули­рующих) органов дозаторов, основные типы которых показаны на рис. 46, а—е.

Контрольные вопросы и задания

1. Расскажите о классификации задающих устройств.

2. Расскажите о классификации исполнительных механизмов.

3. Расскажите о классификации регулирующих органов.

4. Как устроены и работают механические задающие устройства?

5. Каково назначение задающих устройств, выполненных в виде функ­циональных потенциометров?

6. Как устроены и работают дискретные задающие устройства?

7. Какие электромагнитные исполнительные механизмы применяют в си­стемах автоматики?

8. Какие электрические муфты применяют в системах автоматики?

9. Назовите электродвигательные исполнительные механизмы.

10. Как устроены и работают гидравлические и пневматические исполни­тельные механизмы?

11. Как устроены и работают дросселирующие регулирующие органы?

12. Как устроены и работают дозирующие исполнительные органы?

РАЗДЕЛ И

КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ И ТЕХНИКА ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ